Atebion Glanhau Laser Ar Gyfer y Diwydiant Lled-ddargludyddion

Wrth i dechnoleg lled-ddargludyddion barhau i grebachu, mae dyfeisiau cylched integredig uwch wedi trawsnewid o strwythurau planar i strwythurau tri dimensiwn. Mae'r broses weithgynhyrchu cylched integredig yn dod yn fwy a mwy cymhleth, yn aml yn gofyn am gannoedd neu hyd yn oed filoedd o gamau proses. Ar gyfer gweithgynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion uwch, ar ôl pob proses, bydd mwy neu lai o lygryddion gronynnol, gweddillion metel neu weddillion organig ar wyneb y wafer silicon. Mae crebachu parhaus maint nodweddion dyfeisiau a chymhlethdod cynyddol strwythurau dyfeisiau tri dimensiwn wedi gwneud dyfeisiau lled-ddargludyddion yn fwyfwy sensitif i halogiad gronynnau, crynodiad amhuredd a maint.

 

 

Mae gofynion uwch wedi'u cyflwyno ar gyfer technoleg glanhau gronynnau halogedig ar wyneb mwgwd wafferi silicon. Y pwynt allweddol yw goresgyn y grym arsugniad enfawr rhwng y gronynnau halogedig a'r swbstrad. Ar hyn o bryd, mae llawer o weithgynhyrchwyr lled-ddargludyddion yn defnyddio dulliau glanhau asid. Mae golchi a sychu â llaw nid yn unig yn aneffeithlon ond hefyd yn cynhyrchu llygredd eilaidd. Felly pa fath o ddull glanhau sydd ar hyn o bryd yn fwy addas ar gyfer glanhau cynhyrchion lled-ddargludyddion? Mae glanhau â laser yn ddull mwy addas ar hyn o bryd. Pan fydd y laser yn sganio drosodd, bydd yr holl faw ar wyneb y deunydd yn cael ei ddileu, a bydd y baw yn y bylchau yn cael ei ddileu. Gellir ei dynnu'n hawdd, ni fydd yn crafu wyneb y deunydd, ac ni fydd yn achosi llygredd eilaidd. Mae'n ddewis diogel.

 

 

Yn ogystal, wrth i faint dyfeisiau cylched integredig barhau i grebachu, mae colli deunydd a garwedd wyneb yn ystod y broses lanhau wedi dod yn faterion y mae'n rhaid rhoi sylw iddynt. Tynnu gronynnau heb golled materol a difrod patrwm yw'r gofyniad mwyaf sylfaenol. Mae gan dechnoleg glanhau laser gyswllt unigryw, dim effaith thermol, dim difrod arwyneb i'r gwrthrych i'w lanhau, a dim llygredd eilaidd, sy'n fanteision digymar o ddulliau glanhau traddodiadol. Dyma'r dull glanhau gorau i ddatrys llygredd dyfeisiau lled-ddargludyddion.